據報道,SK海力士在2020年以約22.2億元人民幣的價格收購了錦湖石油化學的電子材料業務部門。最近,據The Elec報道,SK海力士開發的厚氟化氪(KrF)光致抗蝕劑(PR)已經通過了該公司的質量檢驗。
三星所使用的是Dongjin semhem公司的產品,該產品與SK海力士的KrF PR類似,厚度約為14至15微米。SK海力士將核心材料的研發工作交由其子公司進行,這使得其旗下的存儲器產品在市場上比競爭對手更具有競爭力。隨著明年存儲器市場逐漸恢復正常,SK海力士的KrF PR銷售額也將隨之增長。此外,日本的JSR公司也正在研發其自己的PR產品,該產品的厚度為10微米。
在NAND閃存的生產過程中,需要使用更加“厚”一些的PR,因為這樣更適合進行堆疊。例如,在生產100層的NAND芯片時,一層層制作的成本會變得更高,而更厚的PR則可以讓存儲器制造商一次性制造多個層。然而,更厚的PR具有更高的粘度,這會對均勻性產生負面影響,因此在開發過程中面臨更大的挑戰。
目前,SK海力士的計劃是將KrF PR用于238層NAND閃存芯片的生產,并將JSR作為次要供應商,兩種產品都將被使用。目前,SK海力士每月生產約5000片238層NAND閃存的晶圓,隨著KrF PR的引入,預計產量將大幅度提高。此外,SK海力士還在推動其他半導體生產所需的關鍵材料的國產化工作。
據悉,SK海力士早在去年8月,就已宣布成功研發全球首款業界最高層數的238層NAND閃存,并向合作伙伴發送238層512Gb TLC 4D NAND閃存的樣品。
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